
自動測量系統
采用高像素CCD
可實時(shí)測量産品尺寸、斑點面積等
測量精度可達±0.2um
測量時(shí)間<0.1s
支持測量數據一(yī / yì /yí)鍵導出(chū)
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測量時(shí)間<0.1s
支持測量數據一(yī / yì /yí)鍵導出(chū)